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派瑞林(Parylene)涂層沉積工藝

派瑞林(Parylene)涂層的氣相沉積制備過程如下：

a、固態(tài)的派瑞林原料在蒸發(fā)腔內(nèi)吸熱升華;

b、升華后的派瑞林氣體進入裂解腔，在高溫作用下，形成活性派瑞林單體;

c、派瑞林單體被送到室溫的真空沉積室里，在工件表面進行沉積聚合，形成一層致密的保護膜。